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采樣流量 | 2.83 升/分鐘(0.1cfm) |
采樣誤差 | ≤±5% |
最大可測顆粒濃度 | ≤30K顆/L |
自凈時間 | ≤10min |
粒徑分布誤差 | ≤±30% |
粒子濃度示值誤差 | ≤±30% |
測量重復相對偏差 | ≤±10% |
潔凈度等級判定標準 | ISO14644 FS209E新版GMP(2010版) |
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